ALD用高浓度臭氧发生器使用现场

• 臭氧发生器型号：加拿大Atlas H30和J5000臭氧检测仪
• 实验内容：ALD
• 使用单位：中科院

上海某科研单位采购北京同林代理的加拿大absolute ozone Atlas H30臭氧发生器和北京同林3S-J5000臭氧检测仪进行原子沉淀（ALD）实验，实验达到要求。